தூண்டலுடன் mocvd உலையை வெப்பப்படுத்துதல்
தூண்டல் வெப்பமூட்டும் உலோக கரிம இரசாயன நீராவி படிவு (எம்ஓசிவிடி) உலைகள் வெப்பமூட்டும் திறனை மேம்படுத்துவதையும் வாயு நுழைவாயிலுடன் தீங்கு விளைவிக்கும் காந்த இணைப்பைக் குறைப்பதையும் நோக்கமாகக் கொண்ட தொழில்நுட்பமாகும். வழக்கமான தூண்டல்-வெப்பமூட்டும் MOCVD உலைகள் பெரும்பாலும் அறைக்கு வெளியே உள்ள தூண்டல் சுருள்களைக் கொண்டுள்ளன, இது குறைந்த செயல்திறன் கொண்ட வெப்பமாக்கல் மற்றும் வாயு விநியோக அமைப்பில் சாத்தியமான காந்த குறுக்கீட்டை ஏற்படுத்தும். அண்மையில் … மேலும் படிக்க